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《透射電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》征求意見稿發(fā)布

時(shí)間：2019-12-26 作者：閱讀：4255

近日，根據(jù)國家市場監(jiān)督管理總局計(jì)量函【2019】42號(hào)《市場監(jiān)管總局計(jì)量司關(guān)于國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范制定、修訂及宣貫計(jì)劃有關(guān)事項(xiàng)通知》，受全國幾何量長度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)的委托，由中國計(jì)量科學(xué)研究院和上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院負(fù)責(zé)制定的《透射電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》出稿已完成。為了使該項(xiàng)計(jì)量技術(shù)規(guī)范更加完善和更具可操作性，全國幾何量長度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)將規(guī)范予以公示，并面向全社會(huì)公開征求意見。

《透射電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》具體內(nèi)容包括范圍、應(yīng)用文件、術(shù)語和定義、概述、計(jì)量特性、校準(zhǔn)條件、校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法、校準(zhǔn)結(jié)果的表達(dá)、復(fù)校時(shí)間間隔等，適用于透射電子顯微鏡的校準(zhǔn)。

透射電鏡的計(jì)量特性參見表1：

儀器在校準(zhǔn)過程中需要考慮的環(huán)境條件包括溫度：(20±5)℃，濕度：≤70%RH，其中，實(shí)驗(yàn)室震動(dòng)和電磁輻射應(yīng)不影響測量結(jié)果。而儀器的校準(zhǔn)項(xiàng)目所采用的標(biāo)準(zhǔn)樣品是周期柵格、硅晶格等，可根據(jù)計(jì)量特性、儀器測量范圍和實(shí)際使用情況選用相適應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)樣品。

校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)樣品參見表2：

透射電鏡的校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法包括測長示值誤差、測長重復(fù)性、正交性誤差、漂移速率等內(nèi)容。另外，關(guān)于儀器的復(fù)校時(shí)間間隔，規(guī)范明確，由于復(fù)校時(shí)間間隔的長短是由透射電鏡的使用狀況、使用者、設(shè)備本身質(zhì)量等諸因素所決定的，因此，送校單位可根據(jù)儀器實(shí)際使用情況自主決定復(fù)校時(shí)間間隔。建議復(fù)校時(shí)間間隔一般為1年。

以上規(guī)范的編寫主要參考了JJG(教委)011-1996《透射電子顯微鏡檢定規(guī)程》與GB/T 34002-2017《微束分析　透射電子顯微術(shù)　用周期結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)校準(zhǔn)圖像放大倍率的方法》的相關(guān)內(nèi)容。規(guī)范制定的目的是解決透射電子顯微鏡在長度測量應(yīng)用中的校準(zhǔn)問題。

[來源：化工儀器網(wǎng)]

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